为了使化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的活性来促进反应，因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积法（PECVD）， 内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命。
技术参数
实验机理 | - 辉光放电等离子体中：电子密度高109-1012cm3
- 电子气体温度比普通气体分子温度高出10-100倍
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产品特点 | - 虽环境温度在100-300℃，但反应气体在辉光放电等离子体中能受激分解，离解和离化，从而大大提高了反应物的活性。因此，这些具有反应活性的中性物质很容易被吸附到较次温度的基本表面上，发生非平衡的化学反应沉积生成薄膜。
- 科晶公司提供定制的薄膜材料的实验室质量可靠、价格合理的紧凑型PECVD系统。
- 下图显示的是PECVD法用500W交流等离子体与OTF1200X50、7通道精密质量流量计和高真空系统气体组成
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| OTF-1200X开启式管式炉，工作温度高达1200℃ | 化学气相沉积系统的组成图 |
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开启式管式炉 | - 工作温度：1200℃
- 炉管尺寸：Φ50，Φ60，Φ80都可用
- 温度控制器：30段高精度数字可编程温度控制器
- 加热区长度：440mm
- 恒温区长度：150mm 注：由于测量手段及外部环境的影响，测量结果可能会有偏差，此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据，请与我公司销售人员联系
- 功率：AC 220V 4KW
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等离子射频电源 | - 输出功率：50-500W最大可调±1%
- RF频率： 13.56MHz，稳定性±0.005%
- 噪声：≤55DB
- 冷却：风冷
- 输入功率：1KW AC 220V
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真空泵和阀门 | - 采用KF25系列波纹管和精密针阀连接
- 真空度可达10-3torr
- 本公司进口的防腐型数字式真空显示计，其测量范围为3.8x10-5至 1125Torr.不需因测量气体种类不同而需要系数转换。（点击图片查看详细介绍）
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质量流量计 | - 内部装有高精度数字显示质量流量计可准确的控制气体流量
- 气体流量范围为0-200 误差为0.02%
- 一个气体混气罐的底部安装了液体释放阀
- 不锈钢针阀安装在左侧可手动控制混合气体输入
- 进气口：采用国际标准双卡套接头
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细节图展示 | |
外形尺寸 | - 炉体：550*380*520mm
- 供气及真空系统：600*600*597mm
- 净重：120KG
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| 开门断电 | 为保证使用安全，该电炉为开门断电设计
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质保期 | 一年质保期相关耗材除外，如加热元件，密封圈等易耗件 |
质量认证 | - CE认证
- 所有电器元件（>24V）都通过UL / MET / CSA认证
- 若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证
    
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国家专利 | 专利名称：可组合式等离子增强化学气相沉积装置 专利编号：ZL-2011-2-0355777.1 尊重创新、鄙视抄袭、侵权必究 |
| 使用注意事项： | - 炉管内气压不可高于0.02MPa
- 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
- 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态
- 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
- 石英管的长时间使用温度＜1100℃
- 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）
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